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QRUI-3 系列探針臺

描述:QRUI-3 系列探針臺:一款高配置綜合型手動測試探針臺, 該系列探針臺設(shè)備配置豐富 ,基本可以滿足一般實(shí)驗(yàn)室的全部測試要求。

更新時間:2022-09-06
訪問次數(shù):2587
詳情介紹
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QRUI-3 系列探針臺產(chǎn)品簡介:

        是一款高配置綜合型手動測試探針臺, 該系列探針臺設(shè)備配置豐富 ,基本可以滿足一般實(shí)驗(yàn)室的全部測試要求。其樣品臺可以360度快速移動 ,便于快速定位樣品位置 ,提高測試效率。并且具備載物臺氣浮快速移動三擋控制 ,快速實(shí)現(xiàn)器件定位;另platen抬桿功能,不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。這樣就使的此設(shè)備在使用探針卡測試的時候非常方便。 此設(shè)備一般適用于大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠。


產(chǎn)品優(yōu)勢:

顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量。

Platen二階抬桿,便于樣品和探針快速分離 ,也可以用于探針卡的扎針。

可升級性強(qiáng) ,最高可升級 220G 高頻 ,也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等

載物臺氣浮快速移動,可快速定位測試樣品,三擋控制,X,Y,XY方向,可實(shí)現(xiàn)單方向移動


QRUI-3 系列探針臺詳細(xì)參數(shù):

 

術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型

QRUI-3-150

QRUI-3-200

QRUI-3-300

 

 

 

針臺

電壓電流(可定制)

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

材料

航空鋁

卡盤大小

6" ,360 度轉(zhuǎn)動, 可微調(diào)

8"  ,360 度轉(zhuǎn)動  ,    可微調(diào)

12",360 度轉(zhuǎn)動 ,可微調(diào)

卡盤行程和精度

6"*6"  ,精度 1um,

8"*8"  ,精度  1um,

12"*12  ,精度 1um

卡盤氣浮移動范圍

氣浮快速移動,三擋控制,X方向,Y方向,XY方向同時,便于快速定位 ,提高測試

卡盤升降功能

ChuckZ軸升降10mm,精度為1um

卡盤吸附方式

真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附   (適用于薄片或者射頻器件)

背電極測試功能

樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空   4mm 香蕉頭插口

 

座平

質(zhì)

U 型平臺  ,鍍鎳  ,與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力

最多可放置6個探針座

最多可放置8個探針座

最多可放置12個探針座

降平臺

二階抬桿一次性6mm,接觸,分離;微調(diào)行程為50mm,分辨率為1um

 

顯示系

統(tǒng)

顯微鏡成像系統(tǒng)

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng)

率范圍

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu) ,氣浮升降    XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,    精度 1um

CCD 成像系統(tǒng)

200 萬/500 萬像素  ,    幀率 60fps ,帶拍照、     錄像、     測量功能

 

針座

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率

力需求

220V/50HZ

詳細(xì)配置方案可討論后給出


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