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牛津電子束鍍膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸發(fā)過(guò)程

 更新時(shí)間:2022-09-19 點(diǎn)擊量:1478
  牛津電子束鍍膜機(jī)采用電子束加熱,不用坩堝上的片作為蒸發(fā)源,可以穩(wěn)定地形成多層薄膜;利用我公司*的比例控制方法和多點(diǎn)在線監(jiān)測(cè),可以形成高精度、穩(wěn)定的光學(xué)多層膜;可以使用可操作性好的電梯來(lái)取出基板傘架。
  電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù);它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。
  牛津電子束鍍膜機(jī)采用均勻分布的高離子電流密度離子源,配備雙電子槍?zhuān)稍诙帱c(diǎn)和環(huán)形坩堝中鍍100層以上,采用自動(dòng)蒸發(fā)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸發(fā)過(guò)程,工件架可以是鐘罩式或行星式。
  電子束鍍膜機(jī)薄膜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):
  1.初始接觸角范圍為115°±5°;
  2.鋼絲絨摩擦阻力測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):使用0000#鋼絲絨,面積10*10mm,行程40次/min,負(fù)載1Kg,往返摩擦5000次后接觸角大于100°;
  3.皮擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):直徑6mm皮擦,行程25次/min,負(fù)載1Kg,往返摩擦2500次后接觸角大于100°;
  備注:試樣的玻璃應(yīng)是經(jīng)過(guò)拋光的觸摸屏蓋板專(zhuān)用玻璃,表面光滑。
  牛津電子束鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn):
  1.提高沉積速率以獲得更高的產(chǎn)量;
  2.在半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高精度工藝;
  3.堅(jiān)固耐用,易于維護(hù)。
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